河南省多晶硅工程技術(shù)研究中心（以下簡稱“多晶硅工程中心”），于2007年6月由河南省科技廳批準(zhǔn)建設(shè)（豫科計(jì)[2007]10號），自2007年12月建成投入使用。
經(jīng)過持續(xù)的的建設(shè)和發(fā)展，多晶硅工程中心建成了氯硅烷分離提純平臺、四氯化硅氫化平臺、多晶硅還原平臺、多晶硅高純后處理平臺、還原尾氣干法回收平臺、硅基電子氣體試驗(yàn)平臺、光纖四氯化硅試驗(yàn)平臺和測試分析中心。其中測試分析中心已通過CMA認(rèn)證和CNAS認(rèn)可，可以對外提供56項(xiàng)權(quán)威硅材料相關(guān)檢測服務(wù)?，F(xiàn)有多晶硅實(shí)驗(yàn)用大型設(shè)備和高純物料專用檢測儀器近二百臺套，擁有技術(shù)人員和管理人員135人，其中中高級研究人員80人。
多晶硅工程中心以“打造一個(gè)以多晶硅為主體的高純半導(dǎo)體材料及新能源材料生產(chǎn)工藝和裝備技術(shù)、檢測分析技術(shù)的研發(fā)平臺；同時(shí)打造為中硅高科技術(shù)創(chuàng)新的源泉、國內(nèi)多晶硅技術(shù)人才的搖籃“為宗旨。一直以多晶硅材料產(chǎn)業(yè)對低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)的制備技術(shù)迫切需求為出發(fā)點(diǎn)，以關(guān)鍵技術(shù)的自主創(chuàng)新、兼顧吸收創(chuàng)新、集成創(chuàng)新為指導(dǎo)思想，開展多晶硅核心技術(shù)、關(guān)鍵工藝技術(shù)以及關(guān)鍵裝備的研究，開展可能引導(dǎo)多晶硅產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)優(yōu)化升級的戰(zhàn)略性、前瞻性的新理論、新技術(shù)、新工藝、新裝備的研發(fā)，培養(yǎng)產(chǎn)業(yè)工程技術(shù)創(chuàng)新人才以及促進(jìn)重大的科技成果應(yīng)用；為我國多晶硅材料大規(guī)模、低單耗、高品質(zhì)、清潔生產(chǎn)制備技術(shù)提供核心技術(shù)支撐，為國內(nèi)的多晶硅產(chǎn)業(yè)提供技術(shù)服務(wù)。
自成立以來，先后完成國家863計(jì)劃課題、國家科技支撐計(jì)劃課題以及省市科研項(xiàng)目等近百項(xiàng)，申請專利100多項(xiàng)，多項(xiàng)成果獲得國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)、省市和行業(yè)學(xué)會的科技獎(jiǎng)勵(lì)，擁有多項(xiàng)具有自主知識產(chǎn)權(quán)的多晶硅生產(chǎn)工藝及裝備系統(tǒng)技術(shù)，打破了美、日、德等國的技術(shù)封鎖和市場壟斷，推進(jìn)了國家優(yōu)先重點(diǎn)發(fā)展的多晶硅高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，促進(jìn)電子信息產(chǎn)業(yè)、太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，在上級領(lǐng)導(dǎo)單位和依托單位的大力支持下，本中心已成為國內(nèi)領(lǐng)先的多晶硅制備工程技術(shù)研發(fā)平臺，國內(nèi)多晶硅技術(shù)人才的培養(yǎng)搖籃，企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的源泉。
